产品介绍:
Verifire™ MST 可对光学元件和镜头系统的表面形貌和透射波前进行高精度测量。它是唯一一个可以同时测量多个表面形貌的商用干涉仪系统,可以保持相对表面信息,并快速提供多个表面的结果。
主要特点:
1.同时进行表面和波前表征,还可进行精确的面与面之间的测量,如 TTV 和楔角
2.薄至 0.5 mm 的测试样件的表面形貌和厚度分析
3.广泛的横向分辨率,包括像素限制的光学设计,可提供最佳的 ITF
1.2k x 1.2k(包括分立变焦,可实现高达 3 倍的光学变焦(适用于进口干涉仪))
2.3k x 2.3k
3.4k x 3.4k
4.工作波长为 633 nm 到 1.053 µm、1.064 µm 和 1.55 µm
5.ZYGO 独有的 QPSI™ 采集技术,可在振动较常见的环境中实现可靠的测量,该技术现在可用于波长移
相和多表面 FTPSI 数据采集
6.Ring of Fire火环伪影减少源为标准配置,可消除靶心并降低相干噪声