在光电器件生产过程中，刻蚀、研磨、抛光、切割等工序消耗大量药剂，产生大量加工废液，这些废液处理成本高昂，给企业造成较大经济负担，且工业废水排放导致环保压力增加。实验室自主研发的在线过滤净化回用系统，核心为膜组件，以高精密度、高通量半导体无机膜与纳米筛分原理为基础，通过压力驱动去除废液中的大分子有机污染物及无机粉尘、加工废屑等无机颗粒，同时保留药剂溶液体系中的有效成分。膜组件的孔径可根据实际工况进行调节，精度最高可达1 nm，且膜材料化学稳定性强，耐强酸、强碱、强氧化剂等腐蚀介质，该系统已普遍应用于金属加工、光电、半导体、医药、食品等行业，实现废液的“无害化、减量化、资源化”处理，助力相关加工制造行业节约生产成本，实现“近零排放”。