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碳化硅陶瓷加热盘
行业
光电传感及应用展区
产品应用领域
电气工程/电子/半导体
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产品介绍
用于12寸及以下晶圆加热、烘烤。 多分区独立控温,分区数量根据需求确定 一体式结构:盘体直径325mm,厚度5mm。表面平面度优于0.01mm,粗糙度Ra1.6,温度可达800℃,升温速率≥60℃/min。盘面整体温度均匀性优于性能指标,温度稳定性优于±0.05℃。 多分区加热盘具有加工简单、可靠性高,成品率高的特点。
展商信息
    长春长光启辰科技有限公司
  • 展商展区
    光电传感及应用展区
  • 展商展馆
    A2馆
  • 展位号
    A2-H17
  • 主营产品
    封装基板,多层氧化铝陶瓷封装基板产品,精密陶瓷零部件产品,全碳化硅一体化/分体式热压盘,碳化硅陶瓷加热盘,铝热盘、不锈钢热盘,6寸、12寸晶舟,碳化硅陶瓷手臂等
  • 公司简介
    长春长光启辰科技有限公司(GPACK)是由中科院长春光机所、长光辰芯公司、长光视园投资公司和研究团队自然人共同投资设立的高新技术企业,公司聚焦CMOS/CCD图像传感器等光电器件的陶瓷封装技术及其多层陶瓷封装基板产品研发,主要从事碳化硅、氧化铝、氮化铝以及其他先进陶瓷封装基板产品的设计、研发、制造等工作。致力于打造国内高端光电器件陶瓷封装研发生产平台,同时专注半导体设备用碳化硅、氧化铝等精密陶瓷零部件的研发与生产,目标打造半导体领域国际一流企业。
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