高功率密度连续激光加热技术，采用激光束直接照射晶圆表面，激光能量高度集中、瞬时发生作用，可以让晶圆在极短的时间内进行快速加热 。相较于传统辐射加热方式，高功率密度连续激光加热技术具有以下显著优势： (1)控制精度高。高功率密度激光加热能够十分精确地控制晶圆的温度，可以实现高精度的温度控制。 (2)热均匀性好。激光束能够均匀地照射晶圆表面，使得晶圆的温度分布更加均匀，避免了热点和热应力的产生。 (3)环保安全。激光光束直接照射到晶圆表面进行加热，不需要进行炉子预热，减少了能源的浪费，同时也不会产生废气或其他污染物，是一种更加环保的加热方式。