乾曜光学主营激光干涉仪、配套镜头及工装。乾曜光学激光干涉仪口径从5mm到600mm，波长范围从紫外266nm到近红外1550nm，测量模式有抗振机械移相、抗振波长移相和瞬态载波。乾曜光学激光干涉仪广泛应用于精密光学镜头和光学仪器的光学波像差测量、晶圆和真空吸盘的平面度测量。

素绘WMST 100 激光干涉仪

产品介绍：由于激光良好的相干性，平行平面光学元件测量时，光学元件前表面、后表面均会与干涉仪参考镜产生干涉条纹，再加上前后表面之间的自身干涉条纹，会有三套干涉条纹混叠在一起。传统的测量方式均无法直接分析这样的干涉图。

多表面测量技术（MST）即是解决该难题的完美方案。多表面测量技术依托于波长调谐激光器，由于波长移相的特征是相移量与腔长相关，平行平面光学元件的每一组干涉条纹，均有一个与腔长相关的独特频率。乾曜光学的多表面测量算法通过分析一次采样数据，能独立地分离表征每个平行表面的形貌。也就是说，通过一次测量，直接得到光学镜片前表面、后表面、光学厚度变化三个特征数值。

G60UII 立式激光干涉仪

产品介绍：G60UII 正立式激光干涉仪通光口径为60mm，镜头上置，仪器具备良好的隔振功能，适合光学车间现场的制程检验，拼盘检验，小批量多品种的光学镜片检验。标准镜头有F0.6，F0.7，F1.0，F1.4，F2.0，F2.8，F3.3，F4.5，F5.6，F8.0，F8D，F13和平面镜头等，可定制其他F数的镜头。

正立式激光干涉仪工作站

产品介绍：素绘HD 100U和素绘HD 150U是两款高分辨率工作站，有效口径分别为100mm（4英寸）和150mm（6英寸）。可以测量平面面形、球面面形和曲率半径，选配双五维载物台，可以测量透过波前和非球面的补偿法测量。

G100U和G150U具有经济性，不但胜任精密测量，也适合车间现场测量使用。

平面度测量仪

产品介绍：现代精密制造中，当需要确定整个表面的平整度，单线扫描仪和三坐标测量仪都因为测量的数据量太少而无法满足要求，我们的FlaTester平面度测量仪可以在几秒钟内非接触地测量零件的整个表面，不同尺寸和复杂形状均可测量。

FlaTester的分辨率达到5nm，准确度为50nm。保证可以快速、精确测量平面度、线形、半径等各种表面参数，并且适用于多种材料和表面处理方式。

谷雨300球面拼接激光干涉仪

产品介绍："谷雨300"球面拼接激光干涉仪是乾曜光学2022年深圳光博会发布的“谷雨"系列首款产品。“谷雨300"采用集成式气浮抗振结构设计，通过计算机软件自动规划拼接方案，计算机控制5轴运动机构定位并自动完成拼接测量，最终由强大的专用Sirius拼接干涉仪软件完成数据处理，从而完成高精度的面形误差测量，“谷雨300”在光刻物镜、紫外显微物镜等领域，帮助客户测量300mm口径凸面镜片，半球形和球形镜片的全尺寸面形误差。

“素绘”大口径立式激光干涉仪

产品介绍:严格情况下，要求按照元件的使用状态测量，例如很多窗口、反射镜和半导体晶圆等。素绘300U的通光口径为300mm。为镜头上置、光路向下的结构，适合对样品的平放测量。