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Exhibitor Product Inquiry
长春长光启辰科技有限公司
A2馆
A2-H17
展区
光电传感及应用展区
主营产品
封装基板,多层氧化铝陶瓷封装基板产品,精密陶瓷零部件产品,全碳化硅一体化/分体式热压盘,碳化硅陶瓷加热盘,铝热盘、不锈钢热盘,6寸、12寸晶舟,碳化硅陶瓷手臂等
公司简介
长春长光启辰科技有限公司(GPACK)是由中科院长春光机所、长光辰芯公司、长光视园投资公司和研究团队自然人共同投资设立的高新技术企业,公司聚焦CMOS/CCD图像传感器等光电器件的陶瓷封装技术及其多层陶瓷封装基板产品研发,主要从事碳化硅、氧化铝、氮化铝以及其他先进陶瓷封装基板产品的设计、研发、制造等工作。致力于打造国内高端光电器件陶瓷封装研发生产平台,同时专注半导体设备用碳化硅、氧化铝等精密陶瓷零部件的研发与生产,目标打造半导体领域国际一流企业。
产品
CMOS图像传感器碳化硅封装基板
产品介绍: 国内首次实现碳化硅封装,具有“三新一高”的特点: 新材料:在图像传感器封装领域,国内首次使用碳化硅材料 新工艺:实现微倒角小于0.2mm、基准平面度优于2μm。 新环境:使用温度变化高达100℃。 高性能:高精度、低形变、强导热。
全碳化硅一体式/分体式热压盘
产品介绍: 用于晶圆吸附固定、加热及压合。 全碳化硅一体化成型,表面平面度高,加热速率快,温度均匀性好。 产品技术先进、功能成熟、稳定可靠。可根据客户需求进行定制。
碳化硅保温炉管
产品介绍: 用于氧化/扩散炉(高温炉)。 表面粗糙度<Ra0.4,平面度<0.05mm,顶面与底面间平行度<0.1mm。耐温≥1350℃,SIC纯度>99.9%,密度>3.1g/cm3,承载能力>80KG。 可选带有高纯CVD碳化硅涂层。 产品技术先进、功能成熟、稳定可靠。可根据客户需求进行定制。
6寸碳化硅晶舟
产品介绍: 放置6寸/8寸晶圆,晶圆放置槽宽度≤1mm,表面粗糙度<Ra1.6,表面平面度<0.05mm,耐温≥1300℃,SIC纯度>99.9%,密度>3.05g/cm3,承载能力>20KG。 产品技术先进、功能成熟、稳定可靠。可根据客户需求进行定制。
碳化硅陶瓷加热盘
产品介绍: 用于12寸及以下晶圆加热、烘烤。 多分区独立控温,分区数量根据需求确定 一体式结构:盘体直径325mm,厚度5mm。表面平面度优于0.01mm,粗糙度Ra1.6,温度可达800℃,升温速率≥60℃/min。盘面整体温度均匀性优于性能指标,温度稳定性优于±0.05℃。 多分区加热盘具有加工简单、可靠性高,成品率高的特点。
碳化硅陶瓷手臂
产品介绍: 应用于半导体晶圆转运设备,负责吸附搬运晶圆到指定位置。具有耐高温、高导热性、硬度高、耐强酸强碱腐蚀、重量轻、膨胀系数小、抗热震的特点。形状尺寸可根据用户需求进行定制。
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